
测试内容:冷/热镶嵌定向切割、研磨抛光至目标截面,SEM 二次电子与背散射成像,EDS 微区成分同步。 适用样品:失效芯片定位复查、键合丝界面分析、镀层与 IMC 厚度测量。 交付内容:标注版 SEM 图像、尺寸测量表、EDS 谱图,原始数据完整交付。
请标注期望切割面与保留侧;同批样品建议保留 1-2 颗备份,切割属于微损不可恢复。
某客户二极管开路失效:切片定位键合点根部裂纹,EDS 确认界面污染元素,锁定烧结对工艺窗口问题。
切偏了怎么办?
切割前会与您书面确认切割面并保留切割前光学照片;建议同批保留备份样品以防意外。
可以同步做 EDS 吗?
可以,SEM 观察中同步做点/线/面 EDS,一次上机两份数据。
